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burkert寶德8746型熱式氣體質(zhì)量流量控制器20001765深度解析
更新時(shí)間:2025-04-01 點(diǎn)擊量:217

burkert寶德8746型熱式氣體質(zhì)量流量控制器20001765深度解析

8746型熱式氣體質(zhì)量流量控制器*10nm3/h,NH3,316L基座,G1/4寸,標(biāo)定壓力2bar,4-20mA

控制器| NH3 | 10,000 nm3 /h | 24v DC |內(nèi)螺紋- G1/4" | 4-20 mA

工作原理

核心原理:

通過測量氣體流動(dòng)對熱量的傳遞影響,計(jì)算質(zhì)量流量??刂破靼瑑蓚€(gè)溫度傳感器:

上游傳感器:測量氣體未受加熱時(shí)的溫度。

下游傳感器:位于加熱元件后,測量氣體吸收熱量后的溫度。

當(dāng)氣體流動(dòng)時(shí),加熱元件的熱量被氣體帶走,導(dǎo)致上下游傳感器產(chǎn)生溫差(ΔT)??刂破魍ㄟ^調(diào)整加熱功率維持恒定溫差,加熱功率的變化與氣體質(zhì)量流量成正比。

burkert寶德8746型熱式氣體質(zhì)量流量控制器20001765深度解析

技術(shù)優(yōu)勢

高精度誤差通常小于1%,重復(fù)性優(yōu)異,滿足高精度控制需求

快速響應(yīng)響應(yīng)時(shí)間幾毫秒內(nèi),適應(yīng)快速變化的流量場景

寬量程比量程比可達(dá)100:1,覆蓋低流速到大流量需求

無需溫壓補(bǔ)償直接測量質(zhì)量流量,簡化系統(tǒng)復(fù)雜度

低流速靈敏對微小流量變化敏感,適用于精密控制

氣體兼容性強(qiáng)可測量單一或混合氣體

應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造:

用于CVD(化學(xué)氣相沉積)、蝕刻、擴(kuò)散等工藝的氣體流量控制,確保工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率。

環(huán)境監(jiān)測:

稀釋標(biāo)準(zhǔn)氣體,監(jiān)測空氣質(zhì)量,支持環(huán)保評估。

化工與能源:

控制反應(yīng)釜?dú)怏w進(jìn)料、燃?xì)鉅t空氣-燃料配比,優(yōu)化能源效率。

醫(yī)療與實(shí)驗(yàn)室:

提供精確的氣體混合比例,支持生物反應(yīng)器、氣相色譜儀等設(shè)備。

環(huán)保與新能源:

監(jiān)測煙氣排放、控制清潔能源(如氫氣)的輸送。

未來展望

技術(shù)融合:集成AI算法提升自適應(yīng)能力,優(yōu)化復(fù)雜工況下的控制精度。

材料創(chuàng)新:開發(fā)耐腐蝕、耐高溫的新型傳感器,拓寬應(yīng)用領(lǐng)域。

綠色制造:推動(dòng)節(jié)能設(shè)計(jì),降低設(shè)備功耗和碳排放。

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